先确认这些要求
- 扩产峰值需求
- 并联分配规则
- 检修保供能力
场景与风险识别
扩产时沿用原系统的剩余名义流量，可能低估集中启动、再生耗气和低压运行带来的影响。多台模块并联后如果支管阻力不同，还可能分配不均。关键指标应以现场测量和厂家并联规则共同判断。
处理系统设计要点
整理新增与既有机台的节拍，校核入口温度、最低压力和有效出口流量。模块化方案可便于分期建设，但需明确公共前后过滤、隔离及控制方式。新管路接入前完成清洁与必要吹扫，避免影响运行中的敏感工位。
调试与运行验证
分阶段投入新增负荷，监测各支路压力与露点，验证单模块维护时的能力。保留扩建前基线和投产后数据，确认原有机台气质没有因新增负荷而下降，再完成整体交付。
本行业的选型边界
电子制造的用气指标应由工艺与设备团队共同确定，区分一般执行机构、直接接触零件的工艺气和特殊气体系统。不能以整洁的机房环境推断末端洁净度，也不能用干燥空气替代防静电措施。建设时把污染物项目、检测位置、稳定运行时间和不合格处置写进工艺文件。关键分支可设置独立末端处理和趋势记录，既减少全厂过度处理，也便于出现不良时缩小追溯范围。
现场核查清单
- 逐步加载测试
- 检查支管阻力
- 复核既有机台气质