先确认这些要求
- 用气接触分级
- 末端检测项目
- 维护区域要求
场景与风险识别
气源从机房经过管网进入洁净区域，沿途可能新增颗粒或其他污染。房间空气洁净并不能证明压缩空气同样达标。另一方面，处理设备维护本身可能影响区域管理，因此位置和检修方式需要在设计阶段考虑。
处理系统设计要点
由工艺团队定义接触用途及空气指标，尽量将主要维护设备布置在便于管理的位置，并在关键末端设置适当净化。管路材料、连接方式和吹扫确认应符合项目要求。需要微生物控制的工艺，应另行设计验证流程。
调试与运行验证
在实际使用点检测已规定的项目，并记录取样压力与运行状态。管路新增支线或滤芯更换后进行变更确认，不能仅凭设备合格证替代现场验证，也不能用单次检测代表永久状态。
本行业的选型边界
电子制造的用气指标应由工艺与设备团队共同确定，区分一般执行机构、直接接触零件的工艺气和特殊气体系统。不能以整洁的机房环境推断末端洁净度，也不能用干燥空气替代防静电措施。建设时把污染物项目、检测位置、稳定运行时间和不合格处置写进工艺文件。关键分支可设置独立末端处理和趋势记录，既减少全厂过度处理，也便于出现不良时缩小追溯范围。
现场核查清单
- 记录取样条件
- 确认变更流程
- 检查末端洁净恢复